硅片的氧化技术 实验讲义 编写：付强等一目的1了解热生长SiO2的设备及其SiO2在半导体制造工艺中的作用2理解热生长SiO2的原理3掌握热生长SiO2的工艺原理和操作方法二实验用具材料和设备硅片氧气石英花篮和石英烧杯等各种石英器皿氢氟酸硫酸和硝酸等化学药品恒温扩散炉图1 恒温扩散炉三氧化层的作用热氧化
