单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级PECVD工艺培训PECVD的原理目录PECVD的作用PECVD工艺参数的调整安全PECVD的作用在硅片表面(扩散面)沉积一层深蓝色的SiNx膜而这层SiNx膜的作用是:a)减少电池表面光的反射b)进行表面及体钝化减少电池的反向漏电流 c)具有良好的抗氧化和绝缘性能同时具有良好的阻挡钠离子阻挡金属和水蒸汽扩散的能力PECVD镀