??? ?? ??? ????? ??? ???? ?????丛丛簇簇丛丛簇簇?? ???? ???? ????? ??Precision Engineering Lab. Xiamen Univ.§6 电子束和离子束加工§6 电子束和离子束加工电子束和离子束加工是近年来得到较大发展的新兴特种加工在精密微细加工方面尤其是在微电子学领域得到了较多的应用§6.1 电子束加工§6.2 离子束加工§6.1

一 填空(11分)1.特种加工技术引起了机械制造工艺技术领域内的许多变革例如对:1) 2) 3) 4) 5) 等产生了一系列的影响.2.电子束加工依靠 转化为 来加工的而离子束加工则是依靠微观的 .3.超声加工适合于加工不导电的 材料还可以用于 等.4.快速成形技术的4种代表性工艺是:1) 2) 3) 4)

按一下以編輯母片標題樣式082000馬蘇常按一下以編輯母片第二層第三層第四層第五層特種加工 Ch 7特种加工Non-traditional Machining 主讲：马苏常天津工程师范学院机械制造教研室0820001第七章电子束和离子束加工

特种加工技术　　　单击此处编辑母版标题样式电子束加工：Electron Bean Machining简称EMB离子束加工：Ion Bean Machining简称IBM第六章 电子束和离子束加工主要用在精密微细加工方面尤其在微电子学领域6.1?? 电子束加工一电子束加工的原理和特点二电子束加工装置三电子束加工的应用熔化气化一电子束加工原理电流加热阴极发射电子加 速聚 焦能量密度↑冲击工件表面工

单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式第六章 电子束和离子束加工第一节 电子束加工一电子束加工的原理二电子束加工的特点三电子束加工装置四电子束加工的应用一电子束加工的原理工作原理真空条件下利用电流加热阴极发射电子束经控制栅极初步聚焦后由加速阳极加速通过透镜聚焦系统进一步聚焦使能量密度集中在直径

单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式第一节 电子束加工一电子束加工的基本原理 在真空条件下利用电子枪中产生的电子经加速聚焦后能量密度为106109wcm3的极细束流高速冲击到工件表面上极小的部位并在几分之一微秒时间内其能量大部分转换成热能使工件被冲击部位的材料达到几千摄氏度致使材料局部熔化或蒸发来去除材料控制电子束能量密度的大小和能量注入时间就可以

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版标题样式第六章 电子束和离子束加工2主要内容6.1 电子束加工6.2 离子束加工第六章 电子束和离子束加工3第六章 电子束和离子束加工1概述 电子束加工(Electron Beam Machining 简称EBM)起源于德国1948年德国科学家斯特格瓦发明了第一台电子束加工设备利用高能量密度的电子束对材料进行工艺处理的一切方法统称为电子束加工6.1 电