单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级微机电系统机械电子工程学院专业选修课程Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS)微机电系统第二章MEMS的设计内容提要 硅晶体结构与微观力学 微尺度效应MEMS设计的基本问题MEMS设计的具体方法金刚石立方形式=面心立方结构沿对角线错位14晶格常数a=5.43?每一个硅原子和与之紧邻的四个硅原

单击以编辑母版标题样式单击以编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级微机电系统Micro-Electro-Mechanical Systems引 言信息系统微型化系统体积大大减小性能可靠性大幅度上升功耗和价格大幅度降低信息系统的目标：微型化和集成化微电子解决电子系统的微型化非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键机械部分传感执行控制部分电子学MEMS微电子学MEMS技术从广义上讲ME

引言随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanism System MEMS)片上系统(SOC System on Chip)无线通信和低功耗嵌入式技术的飞速发展孕育出无线传感器网络(Wireless Sensor Networks WSN)并以其低功耗低成本分布式和自组织的特点带来了信息感知的一场变革无线传感器网络原理无线传感器网络就是由部署在监测区域内大量的廉价微型传感器节

按一下以編輯母片標題樣式按一下以編輯母片第二層第三層第四層第五層MEMS加速度計與陀螺儀的原理介紹MEMS加速度計與陀螺儀有些人看到微機電產品會誤以為這個是純電子的產品實際上微機電產品都是帶有一半物理裝置設計的產品而微機電感測器是透過物理發生的類比效果轉換成數位訊號 加速度計顧名思義就是偵測物品的加速度利用封裝內配置兩個電容點並且在中間使用一個可導電並且可晃動的物質並且透過偵測導電物質移動改變兩個

摘 要无线传感网络是随着微机电系统片上系统无线通信和低功耗嵌入式技术的飞速发展而产生的以其低功耗低成本分布式和自组织的特点带来了信息感知的一场变革无线传感器网络就是由部署在监测区域内的大量廉价的微型传感器节点组成通过无线通信方式形成的一个多跳自组织网络无线传感器网络具有众多类型的传感器可以探测包括地震电磁温度湿度光强度压力加速度等等一系列的现象丰富的功能为无线传感器网络赋予了广阔的应用前景本

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级振动冲击噪声国家重点实验室MEMS若干动力学问题研究振动冲击噪声国家重点实验室上海交通大学孟 光 张文明概要 (Outline)微机电系统的基本概况MEMS动力学问题研究微转子动力学问题研究若干动力学问题的研究MEMS动力学研究展望振动冲击噪声国家重点实验室1 微机电系统的基本概况1.1 MEMS基本概念1.2 MEMS基

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级 MEMS封装从广义上讲MEMS是指集微型传感器微型执行器计算机控制以及能源供给的系统MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域如电子机械光学物理学化学生物医学材料科学能源科学等微机电系统简介什么是微机电系统外界信息传入功能作用与外界信息系统微型化系统体积大大减小性能可靠性大幅度上升

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级MEMS的封装MEMS 概述 微机电系统(Microelectromechanical Systems缩写为MEMS)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术它的操作范围在微米范围内比它更小的在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统(美国称谓)欧洲：MST即微系统技术日本：微机械技术(micro-machine)MEMS

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级MEMS工艺—— 微系统设计石云波 3920397(O)shiyunbonuc.edu主要内容一 微机电系统设计过程二 微机电系统设计实例微系统设计一 微机电系统设计过程微系统和其它产品在机械工程设计上的主要区别是:微系统的设计需要集成相关的制造和加工工艺 在微系统设计中有三个主要任务是互相交联在一起

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级 第六章 MEMS封装从广义上讲MEMS是指集微型传感器微型执行器计算机控制以及能源供给的系统MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域如电子机械光学物理学化学生物医学材料科学能源科学等微机电系统简介什么是微机电系统外界信

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级欢迎各位观众收听本期节目O(∩_∩)OMEMS简介What is MEMS Technology MEMS (microelectromechanical systems) are devices that involve integrated micro-devices or systems usuallypri

单击以编辑母版标题样式单击以编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级微机电系统北京大学引 言信息系统微型化系统体积大大减小性能可靠性大幅度上升功耗和价格大幅度降低信息系统的目标：微型化和集成化微电子解决电子系统的微型化非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键机械部分传感执行控制部分电子学MEMS微电子学微机电系统微电子机械系统 Micro-E

无线传感器网络随着计算机技术网络技术与无线通信技术的迅速发展人们开始将无线网络技术与传感器技术相结合无线传感器网络(WSNwireless sensor network)应运而生它由部署在监测区域内大量的微型传感器节点组成通过无线的方式形成的一个多跳的自组织网络不仅可以接入Internet还可适用于有线接入方式所不能胜任的场合提供优质的数据传输服务微机电系统(MEMSMicro-Electr

单击以编辑母版标题样式单击以编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级微机电系统北京大学引 言信息系统微型化系统体积大大减小性能可靠性大幅度上升功耗和价格大幅度降低信息系统的目标：微型化和集成化微电子解决电子系统的微型化非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键机械部分传感执行控制部分电子学MEMS微电子学微机电系统微电子机械系统 Micro-E

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级MEMS的封装MEMS 概述 微机电系统(Microelectromechanical Systems缩写为MEMS)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术它的操作范围在微米范围内比它更小的在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统(美国称谓)欧洲：MST即微系统技术日本：微机械技术(micro-machine)MEMS

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单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二层第三层第四层第五层第二讲 MEMS主要技术单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二层第三层第四层第五层第二讲 MEMS主要技术THE KEY TECHNOLOGY FOR MEMSProf. HU MingEmail: humingtju.edu2022411第二讲 MEMS主要技术2第二讲 MEMS主要技术2.1 MEMS常

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级微机电系统机械电子工程学院专业选修课程Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS)微机电系统集成电路制造程序第3章 集成电路基本制造技术测 试 切 割 刻 蚀 光 刻薄膜制备 掩膜制造掺 杂 封 装 硅片?分单晶硅多晶硅和非晶硅单晶硅具有优良的物理性质其机械稳定性能良好滞后

微米纳米技术研究中心Institute of Micro and Nano Technology.NUC.EDU单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式微机电系统技术基础石云波 3920397(O)y.b.shi163主要内容一 微机电系统设计过程二 微机电系统设计实例课程回顾什么是MEMSMEMS的应用MEMS的加工对象MEMS的加工工艺湿法腐

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级微机电系统机械电子工程学院专业选修课程Micro-Electro-Mechanical-System(MEMS)微机电系统第5章 微传感器 微传感器的基本概念 机械量微传感器 声光电磁热微传感器 生物化学微传感器微传感器的基本概念传感器概念 传感器——两个部分：感受被测量(敏感元件)转换成可用输出信号(转换元件)调节器——(