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ECV测试原理及相关分析.ppt
ECV测试原理及相关分析工艺部 王永伟 ECV测试原理内 容 简 介 ECV背景介绍 ECV测试常见问题及分析 ECV测试曲线的理解第一部分ECV背景介绍ECV背景介绍对于半导体器件的设计和制造而言器件中载流子浓度掺杂厚度以及杂质分布都是必须严格控制的参数就要求对载流子的浓度及分布有更精确可靠的测量目前业界已有几种表征杂质浓度分布的方法如扩展电阻法电容-电压法(C-V )二次离子质谱 (SIMS
日期：2022-04-05 格式：.pptx 页数：28页 大小：1.08MB 发布：
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