单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级纳米压印技术介绍纳米压印技术简介 纳米压印技术概况 纳米压印技术由1995年华裔科学家周郁提出此项技术不使用光线或辐照使光刻胶成型而是直接在基板上利用物理学机理构造纳米尺度图形不受光源波长限制可以简单制作出解析度小于100nm的图形具有工艺简单成本低解析度高产能高等优点图1 孔径95nm周期150nm的孔型阵列图几种常见

纳米压印技术研究综述牛士超 (吉林大学生物与农业工程学院吉林 长春 130025)摘 要：纳米压印技术具有产量高成本低和工艺简单的优点是纳米尺寸电子器件的重要制作技术纳米压印技术主要包括热压印紫外压印(含步进—闪光压印)和微接触印刷等本文首先描述了纳米压印技术的基本原理然后介绍了传统纳米压印技术的新进展如气压辅助纳米压印技术激光辅助压印技术静电辅助纳米压印技术超声辅助纳米压印技术和滚轴式纳

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