单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级纳米压印光刻机压印头的设计和数字建模指导教师:报告人:答辩内容设计目的常见设计方案论文中提出的方案压印头总体结构压下和压印系统设计(爆炸图)设计目的提高压印特征图形质量 增大压印面积 提高效率以及降低成本 常见设计方案步进闪光式压印技术紫外固化压印技术热塑压印技术滚压式压印技术微接触压印技术金属薄膜直接压印技术激光辅助压印技术