单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级电子科学与技术系 固体电子学教学实验 金属薄膜的制备与测试实验一实验目的要求目的1了解真空系统的组成各部分的作用 掌握真空的获得与测量目的2学习真空蒸发制备金属薄膜原理和方法 学习直流溅射制备金属薄膜原理和方法 目的3研究制备工艺对薄