单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级微流体驱动 ——电渗驱动：王玲 ：121630 微米乃至纳米尺度构件中流体的驱动和控制是微电子机械系统(MEMS)中经常要遇到的问题也是MEMS发展需要解决的关键技术之一近几年来生物芯片技

单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式微流体驱动技术 SC09005018周彬微流体MEMS的一个重要组成部分特点：集成化批量生产能耗少响应快等应用前景：流体的微量配合药物的微量注射等发展：微混合分离样品等驱动方式： 1)从宏观流体驱动移植过来 2)根据微尺度下流体特性设计微流体的驱动技术1.压力驱动 原理：压差驱动流体 宏观泵的推力和微泵 微泵