单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级一次二次清洗工艺简介2010年11月3日一次清洗目录1 引言2 原理概述2.1 清洗2.2 去机械损伤层2.3 制绒3 工艺相关3.1 单晶工艺3.2 多晶工艺3.3 清洗操作流程及说明4 检验5 安全相关1 引言分选测试PECVD一次清洗二次清洗烧结印刷电极周边刻蚀检验入库扩散1 引言一次清洗工序包括了三个过程分别是硅片的清