单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级原子力显微镜原理及在材料科学中的应用A Practical Guide to Scanning Probe MicroscopyProf. Xie Zhong March. 1 2011课程大纲Introduction1. The scanning probe microscopy technique1.1. Working

扫描电镜技术及其在材料科学中的应用摘 要：随着科学技术的发展进步人们不断需要从更高的微观层次观察认识周围的物质世界细胞微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到显微镜的发明解决了这个问题目前纳米科技成为研究热点集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到必须使用电子显微镜电子显微镜可分为扫描电了显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TE