单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级MOCVD 技术基础2MOCVD(Metalorganic Chemical Vapor Deposition) MOCVD是一个将特定的源材料通过一系列严格控制传输到加热生长区在此生长区源材料热分解后的元素化合形成具有一定光电性能的晶体材料主要内容1.基本原理2.生长的材料体系基本原理(1)使用的原材料(2)组分控制(3)