单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级光刻版制作 这一节简单介绍光刻版的制作过程最初的光刻版是由涂上感光乳剂的玻璃板制成但由于感光乳剂容易划伤在使用中变质且不能分辩3μm以下的图形现在最常用的感光版使用玻璃涂敷铬技术制做过程如图所示 最受欢迎的光刻版制作材料是硼硅酸盐玻璃或石英它们有良好的尺寸稳定性和曝光波长的传输性能光刻掩膜版制作工艺流程图形刻
