单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级2011-11-17??杨凯.sunlink-pv大族设备基本操作培训多晶电池片生产过程印刷背电极PECVD 扩散刻蚀和去磷硅玻璃多晶原硅片包装制绒分类检测丝网背印电刷场丝网正印电刷极镀减反射膜(PECVD)本工艺过程是炉管真空状态下通入 NH3SIH4射频电源高频放电将NH3SIH4电离等离子体状态(高压)