浙江贝盛光伏股份有限单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级Confidential Staff Only 单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级PECVD石墨舟饱和作用简述石墨舟饱和作用简述PECVD氮化硅膜均匀沉积的条件条件是石墨舟内壁及硅片表面沉积速率一致而决定该速率的主要有温度电场gas以及石墨舟内壁的表面状态这四

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