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掩膜板的制造.ppt
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级掩膜板的制造原理投影掩膜版与掩膜版 投影掩膜版是一个石英版它包含了要在硅片上重复生成的图形这种图形可能仅包含一个管芯也可能是几个投影掩膜版指的是对于一个管芯或一组管芯的图形 光刻掩膜版：它是一块石英版包含了对于整个硅片来说确定一工艺层所需的完整管芯阵列 掩膜版是的制造工艺是关系到集成电路的质量和集成度的重要工序
日期：2022-04-11 格式：.pptx 页数：21页 大小：745.5KB 发布：
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