微米纳米技术研究中心Institute of Micro and Nano Technology.NUC.EDU单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式MEMS工艺——半导体制造技术石云波 3920397(O)shiyunbonuc.edu主要内容材料硅材料其他材料半导体加工工艺薄膜制造及外延生长氧化技术 掺杂技术化学气相淀积接触与互连 MEMS对

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级 MEMS工艺石云波 3920397 shiyunbonuc.edu课程内容第一章 绪言(2)第二章 半导体制造技术(64)第三章 硅微加工技术(62)第四章 光刻技术(32)第五章 LIGA技术(3)第六章 微机械装配与集成(32)第七章 典型微机械系统装置(4)第八章 MEMS制造设备(3)考试：开卷考试80平时2