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MEMS工艺(1).ppt
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级 MEMS工艺石云波 3920397 shiyunbonuc.edu课程内容第一章 绪言(2)第二章 半导体制造技术(64)第三章 硅微加工技术(62)第四章 光刻技术(32)第五章 LIGA技术(3)第六章 微机械装配与集成(32)第七章 典型微机械系统装置(4)第八章 MEMS制造设备(3)考试：开卷考试80平时2
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