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MEMS工艺(其它).ppt
.NUC.EDU单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式MEMS工艺——实验说明石云波 3920397(O)shiyunbonuc.edu实验一 氧化工艺模拟实验实验目的掌握氧化工艺原理熟悉氧化工艺设备对不同工艺参数进行模拟实验 实验内容其它条件不变温度与氧化厚度的关系其它条件不变时间与氧化厚度的关系其它条件不变氢气流量与氧化厚度的关系同样条件干氧
日期：2022-04-12 格式：.pptx 页数：7页 大小：50KB 发布：
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