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MEMS传感器的敏感原理.ppt
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级MEMS传感器的敏感原理MEMS传感器的敏感原理压阻效应压电效应电容效应谐振效应隧穿效应热效应光学效应其它压阻效应(piezoresistivity)电阻 为电阻率取 得压阻效应：导体在外力作用下发生机械变形时其电阻值随着所受机械变形(伸长或缩短)的变化而发生变化象 压阻效应(piezor
日期：2022-04-12 格式：.pptx 页数：63页 大小：2.81MB 发布：
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