离子源离子源是一门用途广类型多涉及学科多工艺技术性强发展十分迅速的应用科学技术广泛应用于原子物理等离子体物理等离子体化学核物理等基础学科中如质谱仪各类加速器(包括中子发生器)同位素分离器离子推进器受控热核聚变研究等七十年代以来广泛用于离子注入离子刻蚀等工业生产领域中对离子源的研究已有七十余年的历史但它迄今仍处在半经验状态离子源的研究涉及到许多学科的知识如气体放电等离子体物理强流离子光学原子物理表面