单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级定义 PECVD定义 Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等离子增强的化学气相沉积工艺目的介绍在电池片正表面镀一层减反增透膜减少光的反射增加电池对光线的吸收对电池的正表面进行H钝化对电池正表面进行保护防止氧化PE

B2 Project TeamCopyright BOE Technology GroupChange life with heart一PECVD在ARRAY中担当的角色ARRAY工艺构成二PECVD基本原理及功能1. CVD的介绍一种利用化学反应方式将反应物(气体)生成固态的产物并沉积在基片表面的薄膜沉积技术.如可生成:导体: W(钨)等半导体:Poly-Si(多晶硅) 非晶硅等绝缘体(介电材质