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TFT-LCD工艺流程.doc
第二章TFT显示器的制造工艺流程和工艺环境要求第一节 阵列段流程一主要工艺流程和工艺制程 (一)工艺流程 (二)工艺制程1成膜：PVDCVD2光刻：涂胶图形曝光显影3刻蚀：湿刻干刻4脱膜二辅助工艺制程1清洗2打标及边缘曝光3AOI4MicMac观测5成膜性能检测(RS meterProfileRESEFTIR)6OS电测7TEG电测8阵列电测9激光修补三返工工艺流程PR返工Film返工四
日期：2022-04-12 格式：.docx 页数：12页 大小：5.85MB 发布：
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