单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级王永东北大学真空与流体工程研究中心导师:李建昌四点探针测试技术Four Point Probe Technology 四点探针(四探针)是半导体行业薄膜和表面科学领域最为常用的电学表征工具用四根探针代替两个探针对样品的电阻率或电导率进行测量能够消除探