镀膜过程中喷点潮斑(花斑)的成因及消除方法 真空镀膜的过程中有时会产生喷点及潮斑(花斑)这些喷点潮斑(花斑)极大的影响了薄膜的品质降低产品的合格率本文将对喷点潮斑(花斑)的形成原因以及消除方法作一探讨一．喷点形成的原因镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因:镀膜材料纯度不高含杂质较多预熔过程中无法将这些杂质去除蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点材料较为潮湿预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全

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