乱流洁净室原理　　乱流洁净室的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的洁净室截面比送风口截面大得多因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流所以送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角曲率半径很小气流在室内不可能以单一方向流动将会彼此撞击将有回流旋涡产生这就决定乱流洁净室的流态实质是：突变流非均匀流 　　这比用紊流来描述乱流洁净室更确切更全面紊流主要决

洁净室中的温湿度控制　　洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定但在满足工艺要求的条件下应考虑到人的舒适度感随着空气洁净度要求的提高出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势 　　具体工艺对温度的要求以后还要列举但作为总的原则看由于加工精度越来越精细所以对温度波动范围的要求越来越小例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小直径100 um的硅

FFU和层流罩的区别如下：英文全称为(Fan Filter Unit)中文专业用语为风机过滤机组(单元)FFU可模块化连接使用使用FFU广泛应用于洁净室洁净工作台洁净生产线组装式洁净室和局部百级等应用场合FFU设有初高效两级过滤网风机从FFU顶部将空气吸入并经初高效过滤器过滤过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45MS±20的风速匀速送出适用于在各种环境中获得高级别的洁净环境它为不同尺寸大小不

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级 欢迎各位同仁参加《洁净室施工及验收规范GB50591-2010》的学习与交流 自报家门： 张 洪 雁 中国航天建筑设计研究() 中华人民共和国国家标准 GBT 50591—2010洁净室施工及验收规范中 华 人 民 共 和 国 建

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