#电子束蒸发系统# 相关文档
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电子束蒸发系统操作步骤.doc
电子束蒸发系统操作步骤抽真空→热蒸发电子枪操作→关闭热蒸发电子枪系统→关闭真空系统抽真空关闭进气阀开冷却水打开总电源(仪器柜后面与前面)将抽气管子放窗外打开冷却水报警(鸣叫表示分子泵冷却水未开)开机械泵电磁阀1开角阀(先慢后快)开真空计当真空度高于10帕时关闭角阀电磁阀2开插板阀(双手操作)开分子泵当运行分子泵后真空示数正常下降关闭真空计电子枪系统操作(当真空计读数低于6.7×10-3Pa)
日期：2022-04-13 格式：.docx 页数：4页 大小：24KB 发布：
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