单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级刻蚀中的化学吴燕宇2010.5.6湿法刻蚀——采用液态的化学腐蚀液去除材料利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分副产物是气体液体或可溶于刻蚀溶液的固体三个基本工艺过程：腐蚀(Etchant Sink)
