第五章 电子显微技术第一节 扫描电子显微镜(SEM)一扫描电镜的结构和基本原理扫描电镜是利用细聚焦的电子束在样品表面逐点扫描用探测器收集在电子束作图5-1 KYKY-1000B扫描电镜外貌图用下样品中产生的电子信号把信号转换成图像的仪器扫描电镜的结构分为电子光学系统信号收集图像显示和记录系统真空系统图5-1图5-2为扫描电镜外型图和主机构造示意图光学系统这部分主要由电子枪电磁透镜扫描线圈

扫描电子显微镜技术参数一扫描电子显微镜性能指标描述(带必须满足)(1)分辨率：高真空模式　 nm (30 kV)　( kV) nm ( kV)(2)放大倍率：5X300000X或以上(3)加速电压：(4)最大样品尺寸：200mm直径高度80mm (WD10mm)(5)样品台：行程X=100mm及以上Y=100mm及以上Z=60mm及以上T=-10°90°R=360°优中心五轴五轴马达自动

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第十二章 扫描电子显微镜 【教学内容】1.电子束与固体样品的相互作用 2.扫描电镜的构造及工作原理3.扫描电镜的主要性能4.扫描电镜样品的要求与制备5.表面形貌衬度原理及其应用6.原子序数衬度原理及其应用7.背散射电子衍射分析及其应用【重点掌握内容】扫描电子显微镜的构造及工作原理和像衬度及其应用 【教学难点】电子束与固体样品的

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级更多内容欢迎莅临天马行空官方博客：:t.qqtmxk_docin扫描电子显微镜 (Scanning Electron Microscopy SEM) 材化0801 孟岩 李民 王洪志 张俊扫描电子显微镜 (Scanning Electro

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设备配置及技术规格要求包A: 场发射扫描电子显微镜 1套1. 工作条件 环境温度 20±5℃ 相对湿度 < 65 电源 220V(±10) 连续工作时间 连续操作2. 技术说明 该仪器由真空系统电子光学系统二次电子探测器背散射电子探头能量过滤器(r-filter)电子束减速装置(GB)X射

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级 扫描电子显微镜和能谱分析技术(Scanning Electron MicroscopyEnergy Dispersive Spectrometer)(SEMEDS)安泰科技研发中心郭金花主 要 内 容 扫描电镜(SEM)扫描电镜的作用扫描电镜的工作原理扫描电镜的主要构造扫描电镜对样品的作用 能谱仪(E