单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第四章 离子镀膜4—1 离子镀原理4—2 离子镀的特点4—3 离子轰击的作用4—4 离子镀的类型第一部分:薄膜的获得概述(12) 离子镀膜(Ion Plating)技术(简称离子镀)是在真空蒸发和真空溅射技术基础上发展起来的一种新的镀膜技术在真空条件下应用气体放电实现镀膜即在真空室中使气体或被蒸发物质电
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