摘 要 MEMS(Micro Electro Mechanical systems即微电子机械系统)是建立在微米纳米技术基础上的前沿技术其利用微电子技术和微加工技术制造各种性能优异的微型化传感器加速度传感器是一种十分重要的力学传感器随着现代科学技术(主要是MEMS技术)的发展加速度传感器出现了微型化集成化的发展趋势信号处理电路是加速度传感器设计需要考虑的一个重要方面集成化要求信号处理

含有运算放大器的电阻电路 应用信号的运算电路下 页上 页比例加减对数指数积分微分等运算产生方波锯齿波等波形信号的处理电路信号的发生电路有源滤波器精密整流电路电压比较器采样-保持电路返 回 电路下 页上 页频带过窄线性范围小加入负反馈扩展频带减小非线性失真优点：高增益输入电阻大输出电阻小返 回缺点：输入级偏置电路中间级用以电压放大输出级输入端输出端电路符号a：倒向输入端输入电压u－b：非倒向输入端输