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高g加速度传感器固有频率.doc
MEMS高g加速度传感器在爆炸冲击测试以及侵彻弹引信等特殊领域具有非常重要的应用[1]压阻式微加速度传感器因其结构简单信号易于检测工艺成熟等优点而备受然而目前所研制的压阻式传感器大多存在的缺点是：动态特性欠佳更有甚者在第一次之后的测试中根本得不到所需数据经分析其原因在于：当外加动态载荷存在与系统的固有频率相等或相近的频率分量时系统就会出现谐振现象使得质量块-梁结构的运动幅值过大从而导致器
日期：2022-04-19 格式：.docx 页数：5页 大小：1.02MB 发布：
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