单晶制绒(各向异性腐蚀) 硅的各向异性腐蚀是指对硅的不同晶面具用不同的腐蚀速率.各向异性腐蚀剂一般分为两类:一类是有机腐蚀剂包括EPW和联胺等另一类无机腐蚀剂包括无机碱性腐蚀剂如KOH NaOH LiOH等我们单晶制绒腐蚀剂用的是无机碱性腐蚀剂.在腐蚀液浓度一致的前提下 改变腐蚀液的温度 各晶面的腐蚀速率随温度的变化示于图5单晶制绒溶液通常用低浓度(0.5.—1.5wt)的氢氧化钠混合(5