摘要：MOCVD外延技术是国内目前刚起步的技术本文主要介绍外延的基本原理以及目前世界上主要外延生产系统的设计原理及基本构造??? 外延生长的基本原理是在一块加热至适当温度的衬底基片(主要有红宝石和SiC两种)上气态物质InGaAlP有控制的输送到衬底表面生长出特定单晶薄膜目前LED外延片生长技术主要采用有机金属化学气相沉积方法 MOCVD ??? 金属有机物化学气相淀积(Metal-Orga

LED外延片及知名生产企业介绍外延生长的基本原理是在一块加热至适当温度的衬底基片(主要有蓝宝石(Al2O3)和SiCSi)上气态物质InGaAlP有控制的输送到衬底表面生长出特定单晶薄膜 ??目前 HYPERLINK :baike.ofweek320 o LED外延片 t _blank LED外延片生长技术主要采用有机金属化学气相沉积方法基本原理Ⅲ-V族氮化合