#LED外延生长# 相关文档
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MOCVD外延生长技术简介.doc
摘要：MOCVD外延技术是国内目前刚起步的技术本文主要介绍外延的基本原理以及目前世界上主要外延生产系统的设计原理及基本构造??? 外延生长的基本原理是在一块加热至适当温度的衬底基片(主要有红宝石和SiC两种)上气态物质InGaAlP有控制的输送到衬底表面生长出特定单晶薄膜目前LED外延片生长技术主要采用有机金属化学气相沉积方法 MOCVD ??? 金属有机物化学气相淀积(Metal-Orga
日期：2022-04-20 格式：.docx 页数：6页 大小：33KB 发布：
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