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重氮萘醌磺酸酯-酚醛树脂——正性光致抗蚀剂的制备与性质.doc
重氮萘醌磺酸酯-酚醛树脂正性光致抗蚀剂的制备与性质摘要：本实验采用234-三羟基二苯甲酮作为接枝化母体与215－重氮萘醌磺酰氯进行酯化合成感光化合物之后再与线性酚醛树脂—BTB24配合溶于乙二醇乙醚再加入少量添加剂制得酚醛树脂-重氮萘醌磺酸酯正性抗蚀剂将其涂布于铝版基上烘干曝光显影结果表明最佳曝光时间为90S分辨率为12um网点保留下限为10上限为90关键词：光致抗蚀剂 化学增幅 感光度 重
日期：2022-04-21 格式：.docx 页数：5页 大小：2.58MB 发布：
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