单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级光学系统的波差测量 一实验目的了解光学系统波差的基本物理概念掌握光学系统波差的激光干涉测量方法1二实验原理如果光学系统存在像差其出瞳平面上的光振动的位相分布与理想球面波所对应的位相分布将存在差异用函数f(xy) 来表示并且可以写成:式中k是波数(k=2pll为光波长

单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级位移的纳米测量方法微弱振动的纳米量级监视实验 实验目的：建立纳米测量的概念了解其实现方法利用笔束激光干涉法进行纳米量级的位移测量了解微弱振动监测的原理进行纳米量级的微弱振动监视实验原理：在CMOS上干涉条纹的位移量xf 式中N为条纹移动数M为物镜10的放大倍数f为FT透镜8的焦距2d为测量光束与参考光束的空间间距S为被测量镜的