单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级数字干涉测量方法及面形的三维干涉测量及评价 一实验目的了解激光干涉的近代方法??数字干涉技术的原理和方法掌握干涉的实时检测技术了解数字干涉方法的特点及应用场合了解表面三维形貌的高精度实时测量原理实测一个平面光学零件的表面形貌并对评价指标PVRMS的定义有所掌握1二实