第三章 电容式传感器 电容测量技术近几年来有了很大进展它不但广泛用于位移振动角度加速度等机械量的精密测量而且还逐步扩大应用于压力差压液面料面成分含量等方面的测量由于电容式传感器具有一系列突出的优点:如结构简单体积小分辨率高可非接触测量等这些优点随着电子技术的迅速发展特别是集成电路的出现将得到进一步的体现而它存在的分布电容非线性等缺点又将不断地得到克服因此电容式传感器在非电测量和自动检