微电容式加速度传感器论文专 业:电气工程及其自动化班 级:0 7 1 班姓 名:学 号:指导老师:微电容式加速度传感器及其应用班级:07电气1班 :20079450102 :王惠引言 随着微机械系统和微加工技术的发展微型传感器也随之迅速发展微传感器因其尺寸微小测量准确度和灵敏度高而广泛应用于工程医学生物等各个领域微电容式传感器因其结构简