#IGZO制备# 相关文档
-
氧分压实验第一次.pptx
662013??氧分压实验-第一次1500A Mo gate electrode2000A SiO2 by PECVD-1 at 300℃400A IGZO by RF MS at different ArO2 ratioITO 1500A by DC MS and lift-offProcess FlowContact etch by RIE2000A SiO2 passivation
日期：2022-04-25 格式：.pptx 页数：6页 大小：1.78MB 发布：
- 1
- 1/1页
客服
顶部