1STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERINGSKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERINGSKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SY

大型贵重仪器设备讲座与培训通知设备名称：双面对准光刻机主讲人：王久洪主讲内容：光刻工艺的原理流程设备及相关知识讲座对象：所有感兴趣的教师学生均可参加讲座时间：2010年10月29日星期五下午2：304：00讲座地点：三楼A328会议室现场培训地点：超净室硅微加工区