1STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERINGSKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERINGSKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SY
大型贵重仪器设备讲座与培训通知设备名称:双面对准光刻机主讲人:王久洪主讲内容:光刻工艺的原理流程设备及相关知识讲座对象:所有感兴趣的教师学生均可参加讲座时间:2010年10月29日星期五下午2:304:00讲座地点:三楼A328会议室现场培训地点:超净室硅微加工区