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尚能电池制造部刻蚀间培训材料SOP标准作业拿硅片承载盒打开传递窗两只手同时拿住承载盒轻轻的放在硅片台上打开硅片盒打开硅片盒时顺着承载盒的边缘往后推拿到上料台在拿的过程要双手捧住(一只手拿住边框一只手托紧盒子)上片在上片时一定要注意扩散面与未扩散面放时要扩散面向上并且放时要与滚轴相平正片与片之间的距离要大小一致(保持在5cm左右)放片时要轻尽量地减低硅片与滚轴的高度距离硅片不要放在上料台滚轴的
日期：2022-04-27 格式：.docx 页数：9页 大小：46.5KB 发布：
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