国家标准《晶片通用网格规范》(送审稿)编制说明注: = 1 GB3 ①XX处应填写国家行业或协会 = 2 GB3 ②XX处填写相应讨论征求意见预审送审或报批正文全文除表格外都为小四号字章标题条标题用黑体顶格段落用宋体首行缩进2个字符表格中用宋体五号字工作简况立项目的与意义随着微电子技术的飞速发展150mm和200mm直径硅晶片成为我国的主流产品各种先进的工艺和测试设备已经越来