附件1:标准项目明细表1在研标准项目明细序号 专业标准层级项目名称涉及标准数量1MEMS及传感器 国家标准半导体器件 微电子机械器件 第19部分:电子罗盘12国家标准半导体器件 微电子机械器件 第5部分:MEMS射频开关13国家标准半导体器件 微电子机械器件 第7部分:用于射频控制与选择的MEMS滤波器和双工器14国家军用标准军用敏感元器件和传感器系列型谱 热敏电阻器(修订GJBZ )15半