MEMS传感器及其应用张雷(机械传动实验室)?摘要:?和传统的传感器相比微型传感器具有许多新特性它们能够弥补传统传感器的不足具有广泛的应用前景越来越受到重视文中简单介绍了一些微型传感器件的结构和原理及其应用情况??关键词:?MEM压力传感器MEM加速度传感器应用1?引言?微机电系统(Microelectro?Mechanical?SystemsMEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级MEMS传感器及其应用 徐敏敏 池明敏 黄夏静 滕风辉 张晓雯 王春柱 余莉莉 周彦祺 黄钰葭 黄道目录1 引言2.MEMS的发展历史3.什么是MEMS传感器4.MEMS传感器的特点5.MEMS传感器的研究内容6.MEMS在各个领域的应用7.ME
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课??题第四章?电容式传感器第一节 电容式传感器的基本概念及主要特点第二节 电容式传感器的工作原理及结构形式课?型新课授课班级授课时数2教学目标1.理解电容式传感器的基本概念和特点2.掌握电容式传感器的工作原理及结构形式教学重点1.电容式传感器的基本概念2.电容式传感器的工作原理及3种结构形式教学难点三种类型电容式传感器的电容变化量计算学情分析教学效果教后记新授课A复习电阻式传感器B新授课第
MEMS加速度传感器原理工艺及应用 基于硅材料微机械加工技术生产的加速度传感器应用范围广具有mems工艺制造的器件所拥有的共同优点:体积小重量轻成本低功耗低可靠性高Mems技术所制造的加速度传感器根据原理分类有压阻式加速度传感器压电式加速度传感器电容式加速度传感器热电偶式加速度传感器谐振式加速度传感器光波导加速度传感器其中应用最广泛受程度最高的是电容式加
开卷速查 规范特训课时作业 实效精练开卷速查(三十六) 传感器及其应用A组 基础巩固1.传感器是一种采集信息的重要器件.如图36-1是由电容器作为传感器来测定压力变化的电路图36-1当待测压力作用于膜片电极上时下列说法中正确的是( )①若F向下压膜片电极电路中有从a到b的电流②若F向下压膜片电极电路中有从b到a的电流③若F向下压膜片电极电路中不会有电流产生④若电流表有示数说明压力F发生变化
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级Sensor常用传感器及其应用 2010-07 传感器简介压力磁位置温度气体光声音湿度 传感器 转换电压电流 传感器定义 传感器是指能感受并响应被测物理量并按照一定的规律将其转换成为可供测量的输出信号的器件或装置 传感器的组成 并无
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单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级7.1 热电阻式传感器7.2 霍尔传感器7.3 压电式传感器第七章 其它常用传感器学 习 要 求1学习和了解热电阻传感器和霍尔传感器的工作原理2掌握热电阻传感器和霍尔传感器的主要参数和特点3了解热电阻传感器和霍尔传感器的应用范围4了解压电式传感器的工作原理和基本应用第一节 热电阻式传感器---利于导电物体
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