第十五章 电子探针显微分析电子探针的原理电子探针仪的结构波谱仪(WDS)能谱仪(EDS)电子探针仪分析方法8/30/20231HPU-LQ电子探针的原理用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品中各元素的特征(标识) X射线:定性分析分析特征X射线的波长(或特征能量),得到元素的种类;定量分析-分析特征X射线的强度,得到样品中相应元素的含量8/30/20232HPU-LQ电子探针仪的结构电子探针仪主要
EMA与SEM不同的是前者着重微区成分分析而后者主要用作图像观察EMA和SEM中作微区化学成分分析都基于测量电子束激发产生的x射线这些x射线的标定和测量可以用能谱仪(EDS)或晶体分光谱仪(CDS)后者有时称作波谱仪(WDS)虽然近年来SEM配上EDS系统这种配置的仪器使用日益广泛但请记住.由于EMA本身的一些特点使它在做微区成分分析上的优越性明显地胜过SEMEMA一般配几道CDS并有非常稳定的样
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X射线能谱仪(EDS)X射线波谱仪(WDS)EDS与 WDS间的比较X射线显微分析在材料科学研究中的应用X射线探测器脉冲处理器模数转换器多道分析器是将试样各元素的特征X射线峰显示再能谱仪上按其能量数值确定试样的元素组成定性分析的一般方法注意事项X射线波谱仪(Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer WDS)WDS的结构(a)能谱曲线
本章主要内容 由于作用在试样上的电子束很细形状如针故称之为电子探针也正是由于电子束很细其作用范围很小因此利用电子探针可以对试样的微小区域进行化学成分的定性分析和定量分析材料现代测试方法 电子探针显微分析Dept. of MSE CQU X射线波长色散谱仪主要由分光晶
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第二十三章 扫描电子显微分析与电子探针 第一节 扫描电子显微镜工作原理及构造 一工作原理 图22-1 扫描电子显微镜原理示意图 二构造与主要性能 扫描电子显微镜由电子光学系统(镜筒)偏转系统信号检测放大系统图像显示和记录系统电源系统和真空系统等部分组成 1.电子光学系统 由电子抢电磁聚光镜光栏样品室等部件组成作用:获得扫
单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式第五章电子探针电子探针得到的是什么图像它与电镜和衍射有什么不同之处电子探针用来测什么 电子探针的全称为电子探针X射线显微分析它是电子光学和X射线光谱的结合产物 现代的电子探针是扫描型电子探针通过电子束在样品表面进行光栅扫描并利用色散的特征X射线信号调制阴极射线管的亮度这样得到的扫描图象可显示表面元素的分
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单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第五章扫描探针显微镜技术及其应用5-1 扫描探针显微镜的产生和历史5-2 扫描探针显微镜的原理5-3 扫描探针显微镜的特点与应用5-4 存在的问题及其展望5-5 总结参考文献扫描探针显微镜的产生和历史扫描探针显微镜产生的必然性 1 表面结构分析仪器的局限性1933年电子显微镜RuskaKnoll透射电子显微
扫描探针显微镜(scanning
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