平均自由程:气体分子在两次碰撞的时间里走过的平均距离(λ=1nπd2)气体分子通量:气体分子对单位面积表面的碰撞频率也即单位面积上气体分子的通量(Φ=nva4=Nap2πMRT此结果又称为克努森方程)流导:真空管路中气体的通过能力真空泵的抽速:定义Sp=Qp p为真空泵入口处的气体压力Q为单位时间内通过真空泵入口的气体流量Pvd:利用某物理过程实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移过程Cvd
(1)PVD沉积基本过程: 从原材料中发射粒子(通过蒸发升华溅射和分解等过程) 粒子输运到基片(粒子间发生碰撞产生离化复合反应能量的交换和运动方向的变化) 粒子在基片上凝结成核长大和成膜在真空条件下通过提供热量使成膜材料获得所必需的蒸汽压并蒸发汽化成原子或分子沉积到基片上形成薄膜不同蒸汽压下蒸发温度不同若蒸发温度高于熔点蒸发状态是熔融的否则为升华的最可几速率为:基片温度:基片温度高则再蒸发低则影响
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光学薄膜技术以及应用调查1.光学薄膜的定义与原理光学薄膜在我们的生活中无处不在从精密及光学设备显示器设备到日常生活中的光学薄膜应用比方说平时戴的眼镜数码相机各式家电用品或者是钞票上的防伪技术皆能被称之为光学薄膜技术应用之延伸倘若没有光学薄膜技术作为发展基础近代光电通讯或是镭射技术将无法有所进展这也显示出光学薄膜技术研究发展的重要性光学薄膜系指在光学元件或独立基板上制镀上或涂布一层或多层介电质
高温热激活型薄膜的形态和其生长环境答:形态 2 型的薄膜组织各晶粒分别外延而形成的均匀的柱状晶组织柱状晶的直径随沉积温度的增加而增加晶粒内部缺陷密度较低晶粒边界的致密性较好各晶粒的表面开始呈现出晶体学平面所特有的形貌形态 3 型的薄膜组织薄膜的组织变为经过充分再结晶的粗大的等轴晶组织晶粒较大直至可超过薄膜的厚度晶粒内部缺陷密度很低晶界趋于完整薄膜织构的概念和织构的形成原因答:晶态薄膜经常具有一定的
薄膜材料 摘要: 薄膜材料的 发展以及应用薄膜材料的分类如金刚石薄膜铁电薄膜氮化碳薄膜半导体薄膜复合材料超晶格薄膜材料多层薄膜材料等各类薄膜在生产与生活中的运用以及展望 关键词:薄膜 金刚石 铁电 氮化碳 半导体 超晶格 一薄膜材料的发展 在 科学发展日新月异的今天大量具有各种不同功能的薄膜得到了广泛的应用薄膜作为一种重要的材料在材料领域占据着越来越重要的地位
Textmasterformate durch Klicken bearbeitenZweite EbeneDritte ebeneVierte EbeneTitelmasterformat durch Klicken bearbeiten18. Dezember 2011??薄膜材料XRD衍射分析简介杨宁 博士XRD应用工程师德国布鲁克AXS有限北京代表处北京海淀区中关村南大街11号光大国信
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