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第 9 卷 第 4 期
氮化硅陶瓷球化学机械抛光机理的研究
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第7 卷第1 期
第6 卷 第 3 期
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氮化硅与碳化硅结合的泡沫陶瓷的微观结构与力学性能张永恒 青岛科技大学材料与环境科学学院摘要:至今已生产出含碳化硅和硅粉末压坯的氮化硅与碳化硅结合的泡沫陶瓷在任何温度下当没有氮化添加剂使用的泡沫陶瓷在相界面内外含有大量α- Si3N4晶须会导致微观结构松散和机械强度低当 Al2O3和 Y2O3被用作为氮化添加剂在1360℃和1395℃条件下含有一定量的Si2N2O与α- Si3N4晶须结合的相会增
附录5二氧化硅氮化硅
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