Microelectronic Fabrication MEMS Technology 热氧化的目的 在 Si 衬底的表面生长一层 SiO2 薄膜 第 4 章 热氧化 SiO2 薄膜的用途 1用作选择扩散时的掩蔽膜 2用作离子注入时的掩蔽膜及缓冲介质层等 3用作绝缘介质(隔离绝缘栅多层布线绝缘电容介质等) 4用作
电路中各功能模块分布在芯片的不同位置中间为全局布线区标准单元可以设计为高度相等的块宽度可以根据逻辑功能的不同加以调整电源接孔和输入输出接孔统一设计到特定的区域便于进行相互连接库单元设计完毕可以形成对应的工艺掩模文档可以在以后的设计中重复使用(IP复用)为了简化版图设计提高设计效率可以采用标准门单元进行初步设计待设计通过验证后再对各局部功能单元进行优化对于产量规模不大的器件也可以直接采用这种方式进行
西安电子科技大学单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第 4-1 页第四章 动态元件4.1 电容元件4.2 电感元件4.3 电容与电感的串并联等效4.4 耦合电感元件 一耦合线圈 二耦合电感的伏安关系 三耦合电感的T形去耦等效4.5 变压器 一理想变压器 二实际变压器 电容和电感元件是组成实际电路的常用器件 这类元件的VCR是微分或积分关系故
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单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级 Introduction to MEMS Spring 2012Weidong YiDesign Analysis FabricationCourse OverviewPart 1 Introduction to MEMS Part 2 Microfabrication FundamentalsPart 3 Micros
第7章 导行电磁波电磁场与电磁波电子科技大学编写高等教育出版社 高等教育电子音像出版社 出版1分类分析时变电磁场问题第4章电磁波的典型代表电磁波的传输共性问题个性问题电磁波的辐射 第5 第7章第8章均匀平面波波导天线6章2第七章 导行电磁波3导行电磁波 —— 被限制在某一特定区域内传播的电磁波常用的导波系统的分类 : TEM传输线金属波导管表面波导导波系统 —— 引
第3章 静态电磁场及其边值问题的解电磁场与电磁波电子科技大学编写高等教育出版社 高等教育电子音像出版社 出版分析求解电磁问题的基本出发点和强制条件出发点Maxwell方程组条 件本构关系边界条件1分类分析求解电磁问题静态电磁场电磁波按时间变化情况第3章第45678章2第三章 静态电磁场及其边值问题的解3出发点Maxwell方程组条 件本构关系边界条件静态电磁场问题特点:电场和磁场独立
第 2 章 电磁场的基本规律电磁场与电磁波电子科技大学编写高等教育出版社 高等教育电子音像出版社 出版1第二章 电磁场的基本规律2 2.1 电荷守恒定律2.2 真空中静电场的基本规律2.3 真空中恒定磁场的基本规律2.4 媒质的电磁特性2.5 电磁感应定律和位移电流2.6 麦克斯韦方程组2.7 电磁场的边界条件本章讨论内容32.1 电荷守恒定律本节讨论的内容:电
第8章 电磁辐射电磁场与电磁波高等教育出版社出版电子科技大学编写1分类分析时变电磁场问题第4章电磁波的典型代表电磁波的传输共性问题个性问题电磁波的辐射 第5 第7章第8章均匀平面波波导天线6章2第八章 电磁辐射3时谐电磁场问题第四章内容复习1. 单一媒质空间的无源问题微分方程方法 (Helmholtz方程)2. 单一媒质空间的有源问题微分方程方法(Helmholtz方程)Lor
第 4 章 时变电磁场电磁场与电磁波电子科技大学编写高等教育出版社 高等教育电子音像出版社 出版1分析求解电磁问题的基本出发点和强制条件出发点Maxwell方程组条 件本构关系边界条件2分类分析求解电磁问题静态电磁场电磁波按时间变化情况第3章第45678章3分类分析时变电磁场问题第4章电磁波的典型代表电磁波的传输共性问题个性问题电磁波的辐射第56章第7章第8章均匀平面波波导天线4分类分析时
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